直線の欠陥検出

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：長谷川芳樹 , 山田行一 , 鈴木康仁
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-556297
公開番号（公開出願番号）：特表2004-500565
出願日： 2001年02月01日
公開日（公表日）： 2004年01月08日
要約：

レチクル上の形状のエッジ部の直線を検査するための方法及び装置であって、該形状エッジ部についてピクセルごとではなくピクセルの小さなグループとして局所的欠陥を解析する、前記方法及び装置を提供する。実施例においては、レクチルを画像化してグレーレベルをもちxとy座標と関係付けられたピクセルを得る。ターゲット形状のエッジ部上の層が識別される2×2配列のようなピクセルの小さな配列の平面が、x座標、y座標、及び配列内のピクセルの各々のグレーレベルに基づいて計算され、参照ラインと計算した面と参照面の交差するラインと間の角度αが計算される。第1配列に隣接した他のいくつかのエッジ部をまたいでいる配列が識別され、各々の角度αが計算され、すべてのαが比較される。αが実質的に同じである場合には、ターゲット形状のエッジ部が直線であると決定され、αが実質的に同じでない場合には、ターゲット形状のエッジ部が湾曲していると決定される。対応した参照形状の画像がターゲット形状の画像と同じ方法で解析され、ターゲット形状のエッジ部が湾曲し、参照形状のエッジ部が直線であるときに欠陥がターゲット形状に存在すると決定される。

請求項（抜粋）：

表面上に形成された、エッジ部を含むターゲット形状を検査する方法であって、該ターゲット形状を画像化して該ターゲット形状を表すピクセルのマトリックスをつくり、各ピクセルがグレーレベルをもち、該表面上の各々の位置に対応したxとyの座標と関係付けられているステップと、現状ピクセルと該現状ピクセルに隣接した複数の第1ピクセルを識別するステップと、該x座標、該y座標及び該現状ピクセルと該複数の第1ピクセルの各々の該グレーレベルに基づいて第1平面を決定するステップと、第1参照ラインと、該第1平面と参照面の交差する第1交差ラインとの間の第1角度を計算するステップと、第2現状ピクセルと該第2現状ピクセルに隣接した複数の第2ピクセルを識別するステップと、該x座標、該y座標及び該第2現状ピクセルと該複数の第2ピクセルの各々の該グレーレベルに基づいて第2平面を決定するステップと、該第1参照ラインに対応した第2参照ラインと、該第2平面と該参照面の交差する第2交差ラインとの間の第2角度を計算するステップと、該第1角度と該第2角度を比較して欠陥が該ターゲット形状に存在しているかを決定するステップと、を含む、前記方法。

IPC (4件)：

G01N21/956 , G03F1/08 , G06T1/00 , G06T7/60

FI (5件)：

G01N21/956 A , G03F1/08 S , G06T1/00 305B , G06T7/60 150S , G06T7/60 300A

Fターム (30件)：

2G051AA56 , 2G051AB02 , 2G051CA04 , 2G051EA12 , 2G051EA16 , 2G051EB01 , 2G051EB05 , 2G051ED04 , 2G051ED08 , 2G051ED21 , 2H095BD04 , 2H095BD17 , 2H095BD26 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DB05 , 5B057DB09 , 5B057DC08 , 5B057DC09 , 5B057DC16 , 5B057DC33 , 5L096AA03 , 5L096AA06 , 5L096FA06 , 5L096FA67 , 5L096FA68 , 5L096GA07 , 5L096JA11

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-245008
特開平3-245008
特開昭60-256290

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