特許

J-GLOBAL ID：200903098864387484

非金属介在物の自動検査方法及び装置

発明者： 阪上 隆夫
出願人/特許権者： 川崎製鉄株式会社
代理人 (1件)： 高矢 諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-366019
公開番号（公開出願番号）：特開2001-183109
出願日： 1999年12月24日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：

【要約】【課題】 ステージ駆動系の遊びにより、同じ非金属介在物が、異なる顕微鏡視野で重複して測定されるのを防ぐ。【解決手段】 同じ非金属介在物が、シフト前後の顕微鏡視野25内に重複して現われないよう、ステージ22を、顕微鏡視野に対応する移動量よりもステージ駆動系の遊びに応じた分だけ大きくシフトする。

請求項（抜粋）：

検査体を保持したステージと顕微鏡を、設定量ずつ相対的にシフトしながら、顕微鏡の視野内に現われる非金属介在物を検査する非金属介在物の自動検査方法において、同じ非金属介在物がシフト前後の顕微鏡視野内に重複して現われないよう、相対シフト量を、顕微鏡視野に対応する移動量よりもステージ駆動系の遊びに応じた分だけ大きくすることを特徴とする非金属介在物の自動検査方法。

IPC (5件)：

G01B 11/00 ,  G01B 9/04 ,  G01N 21/17 ,  G01N 21/84 ,  G01N 33/20

FI (5件)：

G01B 11/00 C ,  G01B 9/04 ,  G01N 21/17 A ,  G01N 21/84 Z ,  G01N 33/20 J

Fターム (30件)：

2F064MM24 ,  2F064MM26 ,  2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM02 ,  2F065QQ31 ,  2G051AA37 ,  2G051AB01 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051DA05 ,  2G051DA09 ,  2G051FA01 ,  2G055AA03 ,  2G055BA04 ,  2G055BA20 ,  2G055FA02 ,  2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059DD13 ,  2G059EE02 ,  2G059FF01 ,  2G059FF03 ,  2G059KK04 ,  2G059LL01 ,  2G059PP04