特許

J-GLOBAL ID：200903098868074502

ガラス基板加熱用ホットプレートとその運転方法

発明者： 川崎 清弘
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-067134
公開番号（公開出願番号）：特開平10-270157
出願日： 1997年03月21日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：

【要約】【課題】 半導体集積回路及び液晶デバイス等の製造工程において用いられるガラス基板加熱用ホットプレートおよびその運転方法において、薄いガラス基板を剥離帯電させることなく効率的に加熱することを目的とする。【解決手段】 ガラス基板4の吸着溝6に、イオン化された乾燥空気または乾燥窒素ガスを供給することで、剥離帯電によるガラス基板4の帯電を速やかに除電する。剥離帯電が抑制され、薄いガラス基板4でもホットプレート1上に密着させて加熱処理を与えることが可能となり、加熱性能も維持される。

請求項（抜粋）：

ガラス基板を加熱する平板状の加熱部と、この加熱部の表面に形成されたガラス基板吸着のための吸着溝と、ガラス基板を加熱部との間で着脱するため、加熱部を貫通して昇降可能な複数個の昇降ピンとを有する加熱用ホットプレートにおいて、前記吸着溝に供給される乾燥空気または乾燥窒素ガスをイオン化するイオン化手段が付与されていることを特徴とするガラス基板加熱用ホットプレート。

IPC (6件)：

H05B 3/84 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/324 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/285

FI (6件)：

H05B 3/20 355 A ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/324 S ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/285 S