クリーンルームの空気清浄装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東忠彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-311000
公開番号（公開出願番号）：特開平5-149582
出願日： 1991年11月26日
公開日（公表日）： 1993年06月15日
要約：

【要約】【目的】本発明はクリーンルーム内に吸着剤から発生したアルカリ金属が侵入しないよう構成したクリーンルームの空気清浄装置を提供することを目的とする。【構成】空気清浄装置は過酸化マンガンカリウムを基剤として吸着剤を有する吸着装置8からの空気を循環調和機3に供給する。循環調和機3には吸着剤から折出したアルカリ金属を吸着するガラス繊維21が充填されたアルカリ金属吸着装置18が設けられ、クリーンルーム2にはガラス繊維によりアルカリ金属が除去された空気が供給される。

請求項（抜粋）：

過酸化マンガンカリウムを基剤とした吸着剤を有する吸着装置(8)からの空気を管路(10)を介してクリーンルーム(2)に供給するクリーンルームの空気清浄装置において、前記吸着剤より折出したアルカリ金属を吸着するガラス繊維(21)が絡んだ状態で充填されたアルカリ金属吸着装置(18)を前記管路(10)に設けてなることを特徴とするクリーンルームの空気清浄装置。

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