アルミニウム系合金膜の成膜方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-355633
公開番号（公開出願番号）：特開平5-171434
出願日： 1991年12月24日
公開日（公表日）： 1993年07月09日
要約：

【要約】【目的】数百°Cに加熱してもヒロックはもちろん被膜の側面およびエッジ部での局部的な突起も発生しない、信頼性の高いAl 系合金膜を得る。【構成】スパッタ室10内に基板20を装入した後のスパッタ室内の排気を、スパッタ室内圧が5×10-5〜5×10-4Torrになるまでしか行なわずに、スパッタ室10内に僅かな空気を残しておき、この残存空気中の窒素、酸素、水素等をスパッタ粒子とともに堆積させる。

請求項（抜粋）：

スパッタ装置によるアルミニウム系合金膜の成膜において、スパッタ室内に基板を装入した後、スパッタ室内の空気をスパッタ室内圧が5×10-5〜5×10-4Torrになるまで排気し、この後スパッタ室内にスパッタガスを導入して、所定のガス圧でスパッタリングを行なうことを特徴とするアルミニウム系合金膜の形成方法。

IPC (2件)：

C23C 14/34 , C23C 14/14

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭59-013096
特開昭61-195505

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