特許
J-GLOBAL ID：200903098872925711
透明導電性薄膜
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-083009
公開番号（公開出願番号）：特開平7-291664
出願日： 1994年04月21日
公開日（公表日）： 1995年11月07日
要約：
【要約】【構成】ガラス上に形成された透明導電性薄膜において、該薄膜製膜後の該薄膜の主成分の結晶は、該結晶におけるガラス面と平行な格子面の間隔と、ASTMのデータに示される該結晶の該格子面の間隔との差が0.6%以内の結晶である透明導電性薄膜。【効果】ガラス基板に反りが生じても膜にクラックが入らないため膜の抵抗は増加しない。
請求項（抜粋）：
ガラス上に形成された透明導電性薄膜において、該薄膜製膜後の該薄膜の主成分の結晶は、該結晶におけるガラス面と平行な格子面の間隔と、ASTMのデータに示される該結晶の該格子面の間隔との差が0.6%以内の結晶であることを特徴とする透明導電性薄膜。
IPC (2件)：
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