特許

J-GLOBAL ID：200903098873782256

画像解析方法及びこの画像解析方法のプログラムを読み取り可能に記録した記録媒体

発明者： 常田 るり子 ,  柿林 博司 ,  中村 邦康
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-156799
公開番号（公開出願番号）：特開平11-003426
出願日： 1997年06月13日
公開日（公表日）： 1999年01月06日
要約：

【要約】【課題】試料内の特徴点や形状に関係なく、周辺状況に対応して、各投影像の位置関係を補正し、試料構造を再構成する画像解析方法を提供する。【解決手段】 傾斜軸31を有し、且つ空間的に浮上しているとみなせる試料構造2を傾斜軸31に平行な投影像面に投影させる工程と、投影工程を複数方向について行われる繰り返し工程と、繰り返し工程で得られたpx,py等の投影像を処理し試料構造2を再構成する工程を含む画像解析方法であつて、複数方向から得られたpx,py等の投影像の各々の重心を求める工程と、重心が一致するようにpx,py等の投影像間の位置補正をする工程を含むことを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

傾斜軸を有し、且つ空間的に浮上しているとみなせる試料構造を当該傾斜軸に平行な投影像面に投影させる投影工程と、前記投影工程を複数方向について繰り返し行わせる繰り返し工程と、前記繰り返し工程で得られた複数方向の投影像の各々の重心を求める工程と、前記求めた各重心が一致するように当該投影像間の位置補正をする補正工程と、前記位置補正がされた各投影像を再構成し三次元試料構造が得られる再構成工程を含むことを特徴とする画像解析方法。

IPC (4件)：

G06T 7/00 ,  G01N 23/04 ,  G06T 7/60 ,  H01J 37/22 501

FI (4件)：

G06F 15/70 330 P ,  G01N 23/04 ,  H01J 37/22 501 C ,  G06F 15/70 360