特許
J-GLOBAL ID：200903098874537468
荷電粒子線装置の電子源
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-080127
公開番号（公開出願番号）：特開平5-283024
出願日： 1992年04月02日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：
【要約】【目的】 複数のフィラメントを並列接続した荷電粒子線装置の電子源における各フィラメントの駆動条件を均一化して長寿命化し、さらにフィラメントの断線数に応じてフィラメント交換時期を表示し、残存フィラメント数が所定値に達した場合に装置の運転を停止する。【構成】 複数のフィラメントの並列接続部とフィラメント電源間を配線部材により接続し、並列接続部の電圧をフィラメント電源にフィ-ドバックして上記並列接続部端電圧を所定値に維持し、グリッドにより上記フィラメントが放出する熱電子量を制御する。さらにフィラメント電流より点灯中のフィラメント本数を割りだしてアラームまたは装置の運転停止指令を発生する。
請求項（抜粋）：
荷電線粒子装置の電子源において、複数の熱電子放出用フィラメントをそれぞれのフィラメント端子部で並列接続し、この並列接続部とフィラメント電源間を配線部材により接続し、上記並列接続部の電圧を計測する手段と、上記並列接続部の電圧を上記フィラメント電源にフィ-ドバックして上記並列接続部の電圧を所定値に維持する手段を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置の電子源。
IPC (3件)：
H01J 37/06
, H01J 37/317
, H01L 21/265
