特許

J-GLOBAL ID：200903098876715070

パルスレーザ装置

発明者： 南谷 靖史
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-291016
公開番号（公開出願番号）：特開平6-061565
出願日： 1992年10月29日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：

【要約】【目的】 レーザ光のエネルギーを目標エネルギー設定値通りに出力するにはどれだけ充電すれば良いかを的確にレーザ電源に指令してパルスレーザの出力を一定に保つことができるパルスレーザ装置を得る。【構成】 レーザ光のパルス毎のエネルギーを検出するビームスプリッタ4、パワーモニタ5と、パルスのレーザ励起強度を検出する電圧モニタ11と、パワーモニタ5の検出出力及び電圧モニタ11の検出出力に基いて演算を行うCPU6Aと、このCPU6Aの演算結果に基いてパルスのレーザ励起強度を可変するレーザ電源9とで構成する。

請求項（抜粋）：

レーザ光のパルス毎のエネルギーを検出するエネルギー検出手段と、上記パルスのレーザ励起強度を検出するレーザ励起強度検出手段と、上記エネルギー検出手段の検出出力及び上記レーザ励起強度検出手段の検出出力に基いて演算を行う演算手段と、該演算手段の演算結果に基いて上記パルスのレーザ励起強度を可変するレーザ励起強度可変手段とを備えたことを特徴とするパルスレーザ装置。