特許

J-GLOBAL ID：200903098882777613

真空精製装置及びその方法

発明者： 飯島 正行 ,  高橋 善和
出願人/特許権者： 日本真空技術株式会社
代理人 (1件)： 飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-023415
公開番号（公開出願番号）：特開平7-204402
出願日： 1994年01月24日
公開日（公表日）： 1995年08月08日
要約：

【要約】[目的] 真空度の変動に影響されずに安定した蒸発速度で、かつ熱分解を生ぜしめずに有機化合物を精製し得る真空精製装置及びその方法を提供すること。[構成] 真空精製装置10に油拡散ポンプ32を接続し、その加熱には±1°Cの精度で温度制御の可能な温度調節器23と接続したマントルヒータ21で行なう。ピロメリト酸二無水物の精製は1.3×10-2Paの高真空下において、150±1°Cの温度に加熱して昇華させる。

請求項（抜粋）：

真空中で有機化合物を加熱して昇華又は蒸発させ、次いで冷却し固化させる真空精製装置において、7×10-1Paよりも高い真空度の得られる真空排気系が接続され、かつ温度調節器によって制御される加熱系が設けられていることを特徴とする真空精製装置。