磁気センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小橋信淳 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-115952
公開番号（公開出願番号）：特開平6-331716
出願日： 1993年05月18日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：

【要約】【目的】地球磁場における磁界の強さの検出精度を高めるとともに、小型化を図ること。【構成】単一の圧電基板10上に音響弾性表面波(SAW)を発生させる櫛形電極11と磁界検出電極15とを配設した。【効果】地球磁場における磁界の強さを検出する際には、これら櫛形電極11及び磁界検出電極15の両者間の温度変化による依存差が無くなるので、磁界の強さの検出精度が向上する。また、これら櫛形電極11及び磁界検出電極15を圧電基板10上に薄膜成形したので、磁気センサの小型化が図れる。

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板に弾性振動を与えるための弾性振動発生手段と、前記基板を伝わる弾性振動とそこに存在する磁界とによって誘導される起電力から出力信号を得る出力信号検出手段とが具備されていることを特徴とする磁気センサ。

IPC (2件)：

G01R 33/02 , H03H 9/25

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭61-275672
特開昭61-275672

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