特許

J-GLOBAL ID：200903098889979726

長方形ウエーハの整合システム

発明者： レン ジー
出願人/特許権者： ブルックス オートメーション インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 藤村 元彦 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-514588
公開番号（公開出願番号）：特表2003-506879
出願日： 2000年06月15日
公開日（公表日）： 2003年02月18日
要約：

【要約】本発明によるシステムは、偏心ベクトルεを決定するように提供されていて、偏心ベクトルεは透明体又は不透明体にされ得る直角四辺形の半導体ウエーハ(22)の重心Oの所望の位置から最初の位置への変位の大きさと方向を規定している。センサにより検出されるように周囲エッジ(108)に適切に設定された基準部分の最初の位置により、ウエーハはP点を中心に回転し、且つ周囲エッジ(108)の外形を規定する曲線が得られる。偏心ベクトルは、ウエーハのコーナーの検出された位置から計算され、点Pに対する重心Oの空間的な変位を示す大きさを有し、且つ点Pと重心Oとを結ぶ第1線とウエーハの対角を結ぶ第2線により形成された角度を示す方向Φを有している。処理の手順に従うと、ウエーハ(96)は整合ステーションに挿入され、その後に最初の位置から所望の位置に再配置され、更に既に獲得された所望の位置を維持したまま複数の処理ステーション(96)に順次進められる。

請求項（抜粋）：

重心Oと、4つの側部からなる連続する周囲エッジと、4つのコーナーと、を有する直角四辺形の半導体ウエーハの所望の位置からの変位の大きさと方向を規定する偏心ベクトルεを決定する方法であって、 (a)点Pにおいて前記ウエーハと交差する回転軸を中心に回転するように前記ウエーハを保持するステップと、 (b)前記周囲エッジの外形を検出するエッジセンサを設けるステップと、 (c)前記センサにより検出されるように前記周囲エッジに基準部分の最初の位置を設定するステップと、 (d)前記回転軸を中心に前記ウエーハを回転させるステップと、 (e)ステップ(d)の間に、前記周囲エッジの外形を検出し、且つ前記基準部分の最初の位置に対して前記センサにより得られた測定値を基に前記4つのコーナー及び前記4つの側部の少なくとも1部を含む前記周囲エッジの外形を規定する曲線を生成するステップと、 (f)前記偏心ベクトルが前記ウエーハのコーナーの検出された位置から計算されるステップと、を含み、前記偏心ベクトルは、前記点Pに対する前記重心Oの空間的な変位を示す大きさを有し、且つ前記点Pと前記重心Oを接続する第1線と前記ウエーハの対角線となる第2線により形成される角度を示す方向Φを有している、 ことを特徴とする偏心ベクトルの決定方法。

Fターム (8件)：

5F031CA02 ,  5F031GA43 ,  5F031JA05 ,  5F031JA28 ,  5F031JA29 ,  5F031JA33 ,  5F031KA11 ,  5F031MA33