特許

J-GLOBAL ID：200903098889994946

熱処理オーブン装置

発明者： 別府 修次
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-058038
公開番号（公開出願番号）：特開2000-260680
出願日： 1999年03月05日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】 排気系のトラブルを早期に検知し、解決できるようにした熱処理オーブン装置を提供する。【解決手段】 本熱処理オーブン装置30は、従来の装置の構成に加えて、以下の要素を備えている。装置は、オーブンチャンバ12毎の排気管14に圧力センサ32を備え、圧力センサで測定した圧力測定値を信号としてライン34を介して排気監視システム22に送る。圧力測定値を示す圧力表示計は、排気圧をデジタル表示する表示計であって、設備前面扉部に集中して配置されている。熱処理オーブン装置は、圧力センサ32で測定した測定値に基づいて、排気監視システムが各オーブンチャンバ12毎に排気系の正常/異常を判断し、異常の場合には、そのオーブンチャンバ12の運転を停止するインターロック・システム42と、同時に正常なオーブンチャンバを選択し、そのオーブンチャンバでウエハの熱処理を行うオーブンチャンバの自動選択システム44とを備えている。

請求項（抜粋）：

複数個のオーブンチャンバと、複数個のオーブンチャンバにそれぞれ接続された排気管を合流させた主排気管の圧力を監視する排気監視システムを備え、ウエハをオーブンチャンバに入れて、熱処理するようにした熱処理オーブン装置において、各オーブンチャンバと接続する排気管にそれぞれ設けられ、各オーブンチャンバの圧力を測定し、測定値を信号として送る圧力計と、排気監視システムに設けられ、圧力計からの信号を受けて圧力測定値を表示する圧力表示計とを備えていることを特徴とする熱処理オーブン装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  H01L 21/02 ,  G03F 7/30 501

FI (3件)：

H01L 21/30 567 ,  H01L 21/02 ,  G03F 7/30 501

Fターム (3件)：

2H096AA25 ,  2H096DA01 ,  5F046KA01