特許

J-GLOBAL ID：200903098891888975

リンス排水のリサイクル法

発明者： 木場 和則 ,  黒河 昌洋 ,  吉田 和男 ,  井上 司朗
出願人/特許権者： 日立造船株式会社
代理人 (1件)： 岸本 瑛之助 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-144519
公開番号（公開出願番号）：特開平11-333443
出願日： 1998年05月26日
公開日（公表日）： 1999年12月07日
要約：

【要約】【課題】 高沸点成分を含むリンス排水を、半導体製造工場でのウエハ洗浄工程から回収して蒸溜法純水製造装置へ送って蒸溜法純水製造の供給水として再使用するリンス排水のリサイクル法を提供する。【解決手段】 液晶製造過程におけるガラス基板や液晶などの純水製造/排水回収システムである。ユースポイント4 で使用された純水は、使用薬品系統別に分別回収される。TMAHを含むリンス排水は、pH調整槽5 で中性にpH調整されて原水槽1 に回収されるか、原水槽1 に直接回収され前処理の真空脱気器2 上流で所定のpH(弱酸性側pH4.2〜6.5)に調整される。純水製造装置3 は蒸溜法の装置である。純水製造装置3 の濃縮倍率は供給水の性状によって決まるが、濃縮倍率は4〜5倍の範囲とし、ブローダウンは他の排水と合流させ、必要ならば放流に適するまでの排水処理を実施して放流する。

請求項（抜粋）：

水の蒸留温度より高い沸点を有する物質を含むリンス排水を回収し蒸溜法純水製造法の供給水として再使用するリンス排水のリサイクル法。