特許
J-GLOBAL ID：200903098894088384
基板搬送方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-110909
公開番号（公開出願番号）：特開2004-315146
出願日： 2003年04月15日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：
【課題】効率的に被搬送体の停止・駆動および方向転換を可能とし、搬送行為の柔軟性および作業効率性を高めた基板搬送方法を得る。【解決手段】ガイド部1を被搬送対象の基板20の角部へ当接して該基板20の動作を規制し、ガイド部1を水平方向へ移動させ、ガイド部1の水平方向角度を回転駆動する。これらの行程により、基板20の一時停止と、任意の水平方向への送り出しを可能とする。本実行において、基板20は下方からの気体の噴出により空中へ浮上状態とされ、基板搬送時の位置を検出するセンサー7を設け、このセンサー7の検出信号を基にガイド部1の動作のタイミングを取る。基板20の動作を規制する働きを行うのは、4個のガイド部1a、1b、1c、1dの他に、側辺部のガイドローラー2も同様の働きをする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被搬送体である基板の動作を規制するガイド部を前記基板の角部へ当接して、該基板の動作を規制する基板動作規制行程と、
前記ガイド部を水平方向へ移動させるガイド位置移動行程と、
前記ガイド部の水平方向角度を回転駆動するガイド回転駆動行程とを有し、
前記基板の一時停止と、任意の水平方向への送り出しを可能としたことを特徴とする基板搬送方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B65G49/06 Z
, H01L21/68 A
5F031CA05
, 5F031FA02
, 5F031FA07
, 5F031GA62
, 5F031JA06
, 5F031JA22
, 5F031JA40
, 5F031LA15
, 5F031PA02
, 5F031PA18
出願人引用 (2件)
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特開平2-255422
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基板搬送装置及び方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-373954
出願人：富士写真フイルム株式会社, 株式会社日立インダストリイズ
審査官引用 (2件)
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特開平2-255422
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基板搬送装置及び方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-373954
出願人：富士写真フイルム株式会社, 株式会社日立インダストリイズ
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