特許

J-GLOBAL ID：200903098895674996

洗浄改質装置

発明者： 菊池 貞次
出願人/特許権者： 岩崎電気株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-090848
公開番号（公開出願番号）：特開2000-279903
出願日： 1999年03月31日
公開日（公表日）： 2000年10月10日
要約：

【要約】【課題】 冷却風を送ることなく安定したオゾンで処理し、また放電ランプの最冷部の温度が一定範囲となり、安定した紫外線出力を維持して、所定のオゾン濃度で洗浄改質を行うことができる洗浄改質装置を提供することを目的とする。【解決手段】 低圧放電ランプの封止部の最冷部を伝熱性のベースで覆い、またベースの外側にサーモモジュールを配置し、さらにサーモモジュールの外側に水冷式冷却機構を配置して構成してある。そしてベースの温度が設定温度を越えたときサーモモジュールが作動し、水冷式冷却機構により放熱し、低圧放電ランプの最冷部の温度を制御し、安定した紫外線出力を維持して、所定のオゾン濃度で洗浄改質を行うように構成してある。

請求項（抜粋）：

洗浄改質装置本体内にランプ収納室と、ワーク収納室とを備える洗浄改質装置において、前記低圧放電ランプの封止部の最冷部を伝熱性のベースで覆い、またベースの外側にサーモモジュールを配置し、さらにサーモモジュールの外側に水冷式冷却機構を配置し、ベースが設定温度を越えたときサーモモジュールが作動し、水冷式冷却機構により放熱し、低圧放電ランプの最冷部の温度を制御するように構成したことを特徴とする洗浄改質装置。

Fターム (7件)：

3B116AA01 ,  3B116AB02 ,  3B116AB44 ,  3B116BB82 ,  3B116BC01 ,  3B116CD42 ,  3B116CD43