特許
J-GLOBAL ID：200903098896747822
反射鏡の鏡面形状制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-096778
公開番号（公開出願番号）：特開平9-281315
出願日： 1996年04月18日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：
【要約】【課題】 鏡面形状の制御が離散的な点に関係づけられるため制約を受けたり、機械的特性と無関係に制御されて反射鏡に不要な応力が及ぶ。【解決手段】 反射鏡1をその機械的構造に近い非束縛円形板で近似し、固有関数値演算部9がその円形板の自由振動の固有関数であるベッセル・フーリエ関数の値を算出する。この関数値を用いて、モード変位同定部10は、波面歪みの矯正に必要とされる所要鏡面変位量12を、固有関数の所定振動モードまでの線形結合で近似する。支持機構指令部11はその線形結合関数の値が反射鏡支持機構2により支持される位置における鏡面変位量となるように、アクチュエータ6を制御する。
請求項（抜粋）：
反射鏡の鏡面形状を制御可能なアクチュエータを有する反射鏡支持機構と、鏡面からの反射光の波面歪みを検出し波面歪み情報を出力する波面検出器と、上記波面歪み情報を入力とし上記反射鏡支持機構のアクチュエータを制御する制御器とを備えた反射鏡の鏡面形状制御装置において、上記制御器が、上記波面歪みの矯正に必要とされる上記所要鏡面変位量を上記波面歪み情報から、鏡面内の複数点について計算し、該複数点における上記所要鏡面変位量を、鏡面の形状及び束縛条件に応じた固有関数の所定振動モードまでの線形結合である最良近似関数で近似し、上記反射鏡支持機構により支持される位置において該最良近似関数の値が鏡面変位量となるように、上記反射鏡支持機構のアクチュエータを制御すること、を特徴とする反射鏡の鏡面形状制御装置。
IPC (4件)：
G02B 5/10
, G02B 7/198
, G02B 7/185
, G02B 23/02
G02B 5/10 B
, G02B 23/02
, G02B 7/18 B
, G02B 7/18 701
