特許
J-GLOBAL ID：200903098900175006
慣性力センサおよびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田澤 博昭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-125393
公開番号（公開出願番号）：特開平8-320342
出願日： 1995年05月24日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：
【要約】【目的】 小型で感度が高く、製品コストが低くさらに単純なプロセスによって製造される慣性力センサおよびその製造方法を得ることを目的とする。【構成】 表面および裏面が(110)面の結晶面を有する一方、側面が(111)面の結晶面を有する単結晶シリコンからなる梁を備えるようにするものである。
請求項（抜粋）：
所定の空隙を介して2つの基板が対向するようにその2つの基板を支持し、1つ以上の(111)面を側面にもつ支柱と、上記2つの基板の対向面にそれぞれ被着された2つの固定電極と、上記2つの固定電極との間隙を保持しつつ当該2つの固定電極の間に位置し、1つ以上の(111)面を側面にもつ質量体と、表面および裏面が(110)面の結晶面を有する一方、側面が(111)面の結晶面を有し、一端が上記支柱に支持されて、他の一端が上記質量体を支持するとともに、垂直方向に慣性力を受けた場合には上記質量体が垂直方向に振動するように支持する単結晶シリコンからなる梁とを備えた慣性力センサ。
IPC (5件)：
G01P 15/125
, G01H 11/06
, G01L 1/18
, G01L 5/00
, H01L 29/84
G01P 15/125
, G01H 11/06
, G01L 1/18
, G01L 5/00 Z
, H01L 29/84 A
