面発光レーザの光量モニター装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柳田征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-138181
公開番号（公開出願番号）：特開平8-330661
出願日： 1995年06月05日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：

【要約】【目的】レーザ使用装置の著しい大型化やコストアップを招くことのない、面発光レーザの光量モニター装置を得る。【構成】面発光レーザ30Cにビームスプリッタ45Cを固定し、該面発光レーザ30Cから出射するレーザビームLC1 を一部モニター光として分岐させ、それを光検出器40Cによって検出する。

請求項（抜粋）：

面発光レーザに固定されて、該面発光レーザから出射するレーザビームを一部モニター光として分岐させるビームスプリッタと、前記モニター光を検出する光検出器とからなる面発光レーザの光量モニター装置。

IPC (3件)：

H01S 3/133 , H01S 3/00 , H01S 3/18

FI (3件)：

H01S 3/133 , H01S 3/00 F , H01S 3/18

引用特許：

審査官引用 (13件)

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