特許

J-GLOBAL ID：200903098908583162

セラミックス材料の研磨方法

発明者： 対馬 光雄
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-231114
公開番号（公開出願番号）：特開平11-071191
出願日： 1997年08月27日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：

【要約】【課題】 サイアロンセラミックス等に代表される窒化系セラミックスを短時間で目的の面精度及び目的の表面粗さに仕上げる。【解決手段】 サイアロンセラミックス製の被加工物3を研磨する場合には、硬質樹脂ポリシャ2を用い、このポリシャ2と被加工物3との間に、酸化鉄(III)を主成分とする砥粒を含む研磨液を介在させ、両者2,3を相対移動させて、被加工物3を研磨する。

請求項（抜粋）：

セラミックスで形成された被加工物とポリッシャとの間に砥粒を含む研磨液を介在させ、両者を相対移動させて、該被加工物を研磨するセラミックス材料の研磨方法において、前記被加工物が窒化珪素系セラミックスである場合に、前記砥粒として、酸化鉄(III)を主成分とする砥粒を用いて、該被加工物を研磨することを特徴とするセラミックス材料の研磨方法。