不良解析システム、致命不良抽出方法及び記録媒体

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-105456
公開番号（公開出願番号）：特開2000-298998
出願日： 1999年04月13日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
要約：

【要約】【課題】自動的に致命不良の原因究明が可能な不良解析システムを提供する。【解決手段】データ解析用EWS2はテスタ用コンピュータ1Aで集計されたFBM情報に基づき、致命不良自動抽出処理を自動的に行う。致命不良自動抽出処理は、Xライン救済判定処理及びYライン救済判定処理を連続して行い、Xライン救済判定処理はYライン方向の不良を考慮して行い、Yライン救済判定処理はXライン方向の不良を考慮して行われる。さらに、Yライン及びXライン置換能力で決定される最大能力からゼロにかけてYライン及びXライン方向の不良を考慮する。

請求項（抜粋）：

複数のチップを有する解析用ウェハに対する不良解析システムであって、前記複数のチップはそれぞれ、X方向及びY方向で規定されるマトリクス状に配置された複数のメモリセルと前記複数のメモリセル中の不良メモリセルと置換可能な置換メモリセル群とを有し、前記置換メモリセル群はX方向及びY方向にそれぞれ所定のX方向置換能力及び所定のY方向置換能力で置換可能であり、前記複数のチップそれぞれにおける前記複数のメモリセルの良/不良を検出して不良のメモリセルには不良ビット情報を付加したメモリセル試験結果を出力するメモリセル試験手段と、前記メモリセル試験結果に基づき、前記Y方向の不良を考慮した前記X方向置換能力によるX方向救済判定処理と前記X方向の不良を考慮した前記Y方向置換能力によるY方向救済判定処理との連続処理及び致命不良集計処理とを含む致命不良自動抽出処理を実行するデータ解析手段とを備え、前記X方向救済判定処理は、(a) 前記複数のメモリセルを複数のX方向置換対象メモリセル群に縮退し、前記複数のX方向置換対象メモリセル群それぞれについて、前記不良ビット情報及び予め定められたY方向仮想置換能力に基づき、前記Y方向の不良を考慮して良/不良を判定するステップと、(b) 前記複数のX方向置換対象メモリセル群のうち、前記ステップ(a) で不良と判定された第1の数のX方向置換対象メモリセル群それぞれを、前記X方向置換能力に基づき救済可能な範囲で救済判定するステップとを含み、前記Y方向救済判定処理は、(c) 前記複数のメモリセルを複数のY方向置換対象メモリセル群に縮退し、前記複数のY方向置換対象メモリセル群それぞれについて、前記不良ビット情報及び予め定められたX方向仮想置換能力に基づき、前記X方向の不良を考慮して良/不良を判定するステップと、(d) 前記複数のY方向置換対象メモリセル群のうち、前記ステップ(c) で不良と仮判定された第2の数のY方向置換対象メモリセル群それぞれを、前記Y方向置換能力に基づき救済可能な範囲で救済判定するステップとを含み、前記致命不良集計処理は、(e) 前記メモリセル試験結果の前記不良ビット情報のうち、前記X方向救済判定処理及び前記Y方向救済判定処理で救済できなかったメモリセルの不良ビット情報である致命不良ビット情報を集計するステップを含む、不良解析システム。

IPC (2件)：

G11C 29/00 655 , G11C 29/00

FI (2件)：

G11C 29/00 655 S , G11C 29/00 655 D

Fターム (6件)：

5L106CC17 , 5L106DD24 , 5L106DD25 , 5L106DD26 , 5L106FF01 , 5L106GG00

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭60-209999
特開昭59-180898

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