特許
J-GLOBAL ID：200903098913966720
塵埃除去装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅 隆彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-322974
公開番号（公開出願番号）：特開平5-160093
出願日： 1991年12月06日
公開日（公表日）： 1993年06月25日
要約：
【要約】【目的】表面の変質、汚濁、損傷を厳格に防止する必要のある物体の表面に付着した塵埃及び微粒子状粉塵を吸込除去し浄化する真空吸込式の塵埃除去装置に於いて、吸引ノズルが洗浄対象物に一定距離を置き接触する危険をなくして、新たな汚染や損傷を回避すると共に、前記吸引ノズルを洗浄対象物の表面にて走査せしめて、表面の塵埃及び微粒子状粉塵を万遍なく除去し浄化する。【構成】真空発生装置にバキュームパイプ8で接続された先細吸引ノズル1が高速で外気を吸引しつつ浄化対象物の表面に付着した塵埃を吸込除去し浄化する真空式塵埃除去装置Aに於いて、吸引ノズル1を支持したノズル支持台3と、吸引ノズル1先細口1aに臨んで浄化対象物を真空発生機と接続したバキュームパイプ9の真空吸引力による真空チャック方式等の適宜手段にて載置固定する水平方向前後左右動作自在な固定治具2とを、相対的に離近自在かつ平行移動自在に対向配置し、吸引ノズル1先細口1aと固定治具2上に載置固定された浄化対象物表面間の接近距離を測定する目盛板7等の測定器を具備したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
真空発生装置にバキュームパイプで接続された先細吸引ノズルが高速で外気を吸引しつつ浄化対象物の表面に付着した塵埃を吸込除去し浄化する真空式塵埃除去装置に於いて、吸引ノズルを支持したノズル支持台と、当該吸引ノズル先細口に臨んで浄化対象物を適宜手段にて固定する固定治具とを、相対的に離近自在かつ平行移動自在に対向配置し、前記吸引ノズル先細口と前記固定治具に固定された浄化対象物表面間の接近距離を測定する測定器を具備したことを特徴とする塵埃除去装置
IPC (3件)：
H01L 21/304 341
, B08B 5/04
, H01L 21/68
