特許
J-GLOBAL ID：200903098918133327

圧電振動片及びその製造方法

発明者：
岩本 修

岩本 修 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-062300
公開番号（公開出願番号）：特開2001-251160
出願日： 2000年03月07日
公開日（公表日）： 2001年09月14日
要約：
【要約】【課題】 圧電振動片の振動周波数を測定しながら調整することができると共に、振動周波数の調整量を大きく採ることができ、振動周波数の経時変化が少ない圧電振動片及びその製造方法を提供すること。【解決手段】 中央部が薄板化された振動部31と、前記振動部の中央部に形成された励振電極32とを備えた圧電振動片30の前記励振電極上に振動周波数調整膜34を備える。これにより、圧電振動片の振動周波数を所定値よりも常に低くすることができるため、圧電振動片の振動周波数の調整時には振動周波数調整膜の厚みを減少させるのみでよいので、圧電振動片の振動周波数の調整量を大きく採ることができると共に、振動周波数の経時変化を抑制することができる。
請求項（抜粋）：
中央部が薄板化された振動部と、前記振動部の中央部に形成された励振電極とを備えた圧電振動片において、前記励振電極上に振動周波数調整膜を備えていることを特徴とする圧電振動片。
IPC (5件)：
H03H 9/19 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22 ,  H03H 3/04 ,  H03H 9/02
FI (5件)：
H03H 9/19 E ,  H03H 3/04 B ,  H03H 9/02 M ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/22 Z
Fターム (10件)：
5J108AA02 ,  5J108BB02 ,  5J108CC04 ,  5J108CC11 ,  5J108DD02 ,  5J108EE03 ,  5J108HH04 ,  5J108KK05 ,  5J108NA02 ,  5J108NB04
引用特許：
審査官引用 (5件)
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