特許

J-GLOBAL ID：200903098919066607

圧電アクチュエータ

発明者： 榎島 尚登
出願人/特許権者： トヨタ自動車株式会社
代理人 (1件)： 石田 敬 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-134405
公開番号（公開出願番号）：特開2000-323762
出願日： 1999年05月14日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】【課題】 内部電極/外部電極間の絶縁層の高耐マイグレーション性を確保すると同時に耐電圧を更に高めることを可能とした圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】 圧電素子1と内部電極2とを交互に積層して一体に接合した積層体から成る圧電動作部10を有し、個々の圧電素子1の積層方向両面にそれぞれ逆極性の電位を印加するために、圧電動作部10の対向側面に、それぞれ上記積層方向に連続した一対の外部電極5,5 を設け、内部電極2を一層おきにその外縁で一対の外部電極5,5 の一方と接続し他方と絶縁し、この絶縁のために内部電極2の外縁と外部電極5との間に介在する絶縁層3を備えた圧電アクチュエータにおいて、絶縁層3は内部電極2の外縁に直接接合した内層31と外部電極5に直接接合した外層32から成り、内層31は内部電極2の材料に対する耐マイグレーション性が外層32より高く、外層32は弾性率が内層31より低いことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

圧電素子と内部電極とを交互に積層して一体に接合した積層体から成る圧電動作部を有し、個々の上記圧電素子の積層方向両面にそれぞれ逆極性の電位を印加するために、上記圧電動作部の対向側面に、それぞれ上記積層方向に連続した一対の外部電極を設け、上記内部電極を一層おきにその外縁で上記一対の外部電極の一方と接続し他方と絶縁し、この絶縁のために上記内部電極の外縁と上記外部電極との間に介在する絶縁層を備えた圧電アクチュエータにおいて、上記絶縁層は上記内部電極の外縁に直接接合した内層と上記外部電極に直接接合した外層とから成り、上記内層は上記内部電極の材料に対する耐マイグレーション性が上記外層より高く、上記外層は弾性率が上記内層より低いことを特徴とする圧電アクチュエータ。