特許

J-GLOBAL ID：200903098921463214

エネルギー感受性材料及びそれらの使用法

発明者： アジェイ マダヴ ,  ティモスィ ウィリアム ウェイドマン
出願人/特許権者： アメリカン テレフォン アンド テレグラフ カムパニー
代理人 (1件)： 岡部 正夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-101637
公開番号（公開出願番号）：特開平6-083074
出願日： 1993年04月28日
公開日（公表日）： 1994年03月25日
要約：

【要約】【目的】 エネルギー感受性材料及びそれらの使用法を提供する。【構成】 一連のシリコンを含む材料は、放射により誘導されたガラス状化合物への変換により、パターン形成用に紫外及び遠紫外に優れた感度を示す。材料は気相から堆積可能で、電子及び光デバイスの作製におけるレジストのような用途に対して、優れた性質を示す。

請求項（抜粋）：

基板上に放射に対し感度をもつ材料の層を形成する工程、パターンを形成するために、前記材料を前記放射に露出する工程及び前記パターンを現像する工程を含む基体の作製方法において、前記材料は0.2<x<1.5、0.2<y<1.5、Rを有機置換基とするとき、式〔R<SB>x </SB>Si H<SB>y </SB>〕<SB>n</SB>で表わされる組成を含み、前記材料は不溶性であることを特徴とする方法。

IPC (4件)：

G03F 7/38 512 ,  H01L 21/027 ,  C08G 77/60 NUM ,  H01L 21/302

FI (2件)：

H01L 21/30 301 R ,  H01L 21/30 361 R

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭60-228542
  
• 特開昭60-228542
  
• 特開平2-263981
  
• 特開平2-263981