レーザ光源、照明光学装置および露光機

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三品岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-156450
公開番号（公開出願番号）：特開平11-004031
出願日： 1997年06月13日
公開日（公表日）： 1999年01月06日
要約：

【要約】【課題】複数の小型レーザからなるレーザ光源において、光源全体からの出力光を無偏光状態とする。【解決手段】x方向に直線偏光した出力の小型レーザと、y方向に直線偏光した出力の小型レーザとの、2種類の小型レーザを交互に配置してレーザ光源を構成することにより、光源全体としての出力光を無偏光状態とする。

請求項（抜粋）：

複数のレーザ装置を並列に束ねて構成したレーザ光源において、前記複数のレーザ装置は、同一偏光方向のレーザ光を出力する少なくとも1つ以上のレーザ装置と、当該偏光方向とは異なる偏光方向のレーザ光を出力する残りのレーザ装置とから構成されることを特徴とするレーザ光源。

IPC (5件)：

H01S 3/07 , G02F 1/37 , H01L 21/027 , H01S 3/094 , H01S 3/109

FI (5件)：

H01S 3/07 , G02F 1/37 , H01S 3/109 , H01L 21/30 515 B , H01S 3/094 S

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