特許
J-GLOBAL ID：200903098927095063
電界放出型カソードの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-133957
公開番号（公開出願番号）：特開平11-329217
出願日： 1998年05月15日
公開日（公表日）： 1999年11月30日
要約：
【要約】【課題】 電子放出特性が劣化することのない大画面カソードプレートを歩留まり良く容易に作製することが可能な製造方法を提供する。【解決手段】 基板上にカソード電極を形成し、この上に微細孔を有する絶縁層及びゲート電極を順次形成した後、電子放出物質の粒子を分散した溶液中に浸し、上記カソード電極を陽極または陰極として電気泳動を行い、上記微細孔に臨むカソード電極上に電子放出物質の粒子を電着することにより電子放出部を形成する。電子放出部は、湿式法により形成しており、設備投資を大幅に削減することができ、大画面としたときの歩留まりも大幅に改善される。また、電子放出物質の粒子が完全に露出した構造とすることができることから、電子放出部の作製精度を格段に下げることができる。
請求項（抜粋）：
基板上にカソード電極を形成し、この上に微細孔を有する絶縁層及びゲート電極を順次形成した後、電子放出物質の粒子を分散した溶液中に浸し、上記カソード電極を陽極または陰極として電気泳動を行い、上記微細孔に臨むカソード電極上に電子放出物質の粒子を電着することにより電子放出部を形成することを特徴とする電界放出型カソードの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/02 B
, H01J 1/30 F
