特許

J-GLOBAL ID：200903098927461868

薄膜磁気ヘッド

発明者： 小巻 賢治 ,  鈴木 功一
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-128299
公開番号（公開出願番号）：特開平8-321010
出願日： 1995年05月26日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：

【要約】【目的】 軟磁気特性及び耐食性に優れたCoNiFe膜を備える薄膜磁気ヘッド。【構成】 基板1上に電気めっき法により磁性膜を成膜する。通常よりも低いレートである40nm/秒のめっきレートで成膜することにより、Coが74重量%:Niが21重量%:Feが5重量%の膜組成のCoNiFe膜が、平均粒径15nmで形成された。保磁力は2[Oe]であり、磁歪は2×10-6である。腐食電位はNiFeに対して-0.08Vであり、耐食性に優れていることが認められた。

請求項（抜粋）：

Coが60〜75重量%、Niが17〜25重量%、Feが3〜9重量%の組成比を有するCoNiFe膜を備える薄膜磁気ヘッドであって、前記CoNiFe膜の平均結晶粒径が12nm〜20nmであることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。

IPC (4件)：

G11B 5/31 ,  C22C 19/00 ,  C23C 14/00 ,  G11B 5/127

FI (4件)：

G11B 5/31 C ,  C22C 19/00 ,  C23C 14/00 D ,  G11B 5/127 F