特許

J-GLOBAL ID：200903098933097167

光回路部品

発明者： 石井 元速 ,  杉田 彰夫 ,  日比野 善典 ,  岡本 勝就 ,  玉村 敏昭 ,  阿部 淳 ,  山田 裕明
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 谷 義一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-227075
公開番号（公開出願番号）：特開平7-084225
出願日： 1993年09月13日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：

【要約】【目的】 回折格子のブラッグ波長可変または他の光素子の光路長可変とすることが容易な光回路部品を提供する。【構成】 シリコン基板4a上に光導波路が形成され、この光導波路上に回折格子2aが設けられている。さらに、回折格子2a上に金属薄膜ヒータ1aが設けられている。

請求項（抜粋）：

シリコン基板上に、石英系ガラスを主成分とする光導波路が形成された光回路部品において、前記光導波路上に設けられた回折格子と該回折格子上に設けられた金属薄膜ヒータとを具備することを特徴とする光回路部品。

IPC (2件)：

G02F 1/01 ,  G02B 6/12

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-226776
  
• 特開昭62-002213
  
• 特開平3-263011