IC異物検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-144291
公開番号（公開出願番号）：特開平8-014845
出願日： 1994年06月27日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：

【要約】【目的】ICのリードに付着した異物を、最外側のリードに隣接するモールド切残しを「異物」と誤判定することなしに、確実に検出する。【構成】検査対象IC2の1辺分のリード全てを含むデータdを、二値化回路6で、リードを”1”にする二値化レベルで二値化し、Y方向に”1”の数を計数した後高いレベルで二値化して、第1の二値化投影データgを得る。データdを微分したデータhを、リード間を”0”とする二値化レベルで二値化し、Y方向に”1”の数を計数した後低いレベルで二値化して、第2の二値化投影データkを得る。X方向に関して、データgの両端の”1”の位置から外側方向に、データkの”0”が最初に表れる位置を検索し、得られた二つの”0”の位置の間を異物検出対象範囲として、その範囲内でデータg,kそれぞれについて”1”の連続数、”0”の連続数が予め定めた範囲内にあるか否かを判定する。

請求項（抜粋）：

検査対象のICを撮像してアナログ画像データを出力する撮像手段と、前記アナログ画像データを入力してAD変換を行い、濃淡画像データとして出力するAD変換手段と、前記濃淡画像データを入力し、IC一辺分のリード全てを含む部分の濃淡画像データを、予め設定した範囲で切り出す検査領域切出し手段と、前記切り出された検査領域の濃淡画像データを記憶する記憶手段と、前記記憶手段から濃淡画像データを入力し、前記撮像手段への入射光量が最も大であるリード部分のみを”1”とし、入射光量がリード部分より小なる部分を”0”とするように予め設定した高い二値化レベルにより二値化する第1の二値化手段と、前記第1の二値化手段が出力する二値化濃淡画像データを入力し、リード長手方向に平行なY方向の”1”の数を、リード長手方向に垂直なX方向の位置毎に計数する第1の投影手段と、前記第1の投影手段が出力する第1の投影データを入力して、リード上の異物を検出するために予め設定した高い二値化レベルで二値化する第2の二値化手段と、前記記憶手段から濃淡画像データを入力して微分処理し、微分濃淡画像データとして出力する微分手段と、前記微分濃淡画像データを入力し、前記撮像手段への入射光量が最も小であるリード間の部分のみを”0”とし、入射光量がリード間より大なる部分を”1”とするように予め設定した低い二値化レベルにより二値化する第3の二値化手段と、前記第3の二値化手段が出力する二値化微分濃淡画像データを入力し、前記Y方向の”1”の数を前記X方向の位置毎に計数する第2の投影手段と、前記第2の投影手段が出力する第2の投影データを入力して、リード間の異物を検出するために予め設定した低い二値化レベルで二値化する第4の二値化手段と、前記第2の二値化手段が出力する第1の二値化投影データの”1”と、前記第4の二値化手段が出力する第2の二値化投影データの”0”とを前記X方向に関して検索し、両端に位置する二つの“1”に対してそれぞれ外側方向に最初に位置する二つの”0”の位置を求め、それら二つの”0”の位置の間を異物検出対象範囲として指定する検出領域切出し手段と、前記検出領域切出し手段が指定する異物検出対象範囲内において、前記第1の二値化投影データの”1”の連続数及び”0”の連続数を計数し、それぞれが予め定めた範囲内にあるか否かによって、リード上に異物が存在するか否かを判定するリード上異物検出手段と、前記検出領域切出し手段が指定する異物検出対象範囲内において、前記第2の二値化投影データの”1”の連続数及び”0”の連続数を計数し、それぞれが予め定めた範囲内にあるか否かによって、リード間に異物が存在するか否かを判定するリード間異物検出手段とを備えることを特徴とするIC異物検査装置。

IPC (4件)：

G01B 11/24 , G06T 7/00 , H05K 3/00 , H05K 3/34 512

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