特許
J-GLOBAL ID：200903098942023842
共焦点型焦点位置検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-083683
公開番号（公開出願番号）：特開平5-203445
出願日： 1992年04月06日
公開日（公表日）： 1993年08月10日
要約：
【要約】【目的】 画像処理装置の自動焦点合わせを高速化できる共焦点型焦点位置検出装置、あるいは試料面の凹凸を短時間で測定できる共焦点型焦点位置検出装置を提供することにある。【構成】 光ファイバーを利用する共焦点型焦点位置検出装置において、光ファイバー9の端面6をアクチュエータ8によって光軸方向に高速で往復移動させ、試料2表面の共焦点光学系1の焦点位置からのずれを表す高周波誤差信号を光検出器14aに発生させる。また同時に端面6を光軸に垂直な面内で走査させ、試料2表面上で光のスポットを走査させる。
請求項（抜粋）：
光ファイバーに光を入射させる入射光学系と、光ファイバー端面から出射する光を試料面上に集光させると同時に該試料面上からの反射光を前記光ファイバー端面に集光させ、該光ファイバーに戻す共焦点型光学系と、前記戻り光の一部または全部を前記光ファイバーから取り出す分岐光学系と、前記取り出し光を光検出器で電気信号に変換し信号処理する電気系を有し、前記分岐光学系から取り出される光量に基づいて、前記共焦点型光学系の焦点位置に対する前記試料面のずれを検出する共焦点型焦点位置検出装置において、前記共焦点型光学系に面する前記光ファイバー端面を光軸方向に移動させるアクチュエータ手段を備えたことを特徴とする共焦点型焦点位置検出装置。
IPC (4件)：
G01C 3/06
, G01B 11/24
, G02B 6/00
, G02B 7/28
G02B 6/00 B
, G02B 7/11 H
