特許
J-GLOBAL ID：200903098943385152
マスフローコントローラ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-159188
公開番号（公開出願番号）：特開平11-353030
出願日： 1998年06月08日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：
【要約】【課題】 集積形流体制御装置の小型化と軽量化及びデッドスペースの最小化を計るために、横方向長さが短かくデッドスペースを極小とすると共に合理的なメンテナンスが行えるようにしたマスフローコントローラとする。【解決手段】 このマスフローコントローラは、流量センサ2を設けたセンサブロック40と流量制御弁50を設けたバルブブロック60とから構成されており、センサブロック40の下面には流入接続部31を、一方のバルブブロック60の下面には流出接続部36をそれぞれ設け、センサブロック40とバルブブロック60とを着脱自在に連結することによって、流体の流入と流出とが直接下面から行われるようにした。よって、本体の横方向長さとデッドスペースが小さく、かつメンテナンスのし易いマスフローコントローラとなった。
請求項（抜粋）：
流体の流入流路と、この流入流路の下流に設けたバイパス流路およびセンサ流路と、このバイパス流路およびセンサ流路の下流に設けた流量制御弁と、この流量制御弁の下流に設けた流出流路と、前記センサ流路の流量を検出する流量センサと、この流量センサの信号により前記流量制御弁を制御する制御回路部と、を有するマスフローコントローラにおいて、前記マスフローコントローラは、前記流量センサを設けたセンサブロックと前記流量制御弁を設けたバルブブロックとを着脱自在に連結してなり、前記センサブロックの下面には前記流入流路に繋がる流入接続部を設け、前記バルブブロックの下面には前記流出流路に繋がる流出接続部を設けたことを特徴とするマスフローコントローラ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G05D 7/06 Z
, F16K 31/02 A
