特許
J-GLOBAL ID:200903098948435670

補正光学系加振装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中村 稔
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-056817
公開番号(公開出願番号):特開2003-255422
出願日: 2002年03月04日
公開日(公表日): 2003年09月10日
要約:
【要約】【課題】 装置を大型化、複雑化することなく、第1、第2のアクチュエータを、狭い隙間で駆動可能な構成にしつつ、補正光学系を互いに直交する方向に高効率に移動させる。【解決手段】 補正光学系1と、光軸2と直交する平面内において該光軸を頂点とする直角二等辺三角形の等角となる二つの角に配置され、かつ、補正光学系を移動させる為のそれぞれの駆動の方向(図中上方向)が平行に統一された、狭い隙間で駆動する第1、第2のアクチュエータ6〜11と、第1と第2のアクチュエータの中間位置に配置され、第1及び第2のアクチュエータが前記統一された駆動方向以外へ動くことを禁止するが、一方のアクチュエータが駆動すると他方のアクチュエータの駆動中心を回転中心として前記補正光学系を微小な回転運動させることを許容するように作用するガイド手段4,5とを有する。
請求項(抜粋):
光学系に含まれ、該光学系の光軸と直交する平面内において互いに直交する方向に移動させられ、前記光軸を偏心させて振れを抑制する補正光学系と、前記光軸と直交する平面内において該光軸を頂点とする直角二等辺三角形の等角となる二つの角に配置され、かつ、前記補正光学系を移動させる為のそれぞれの駆動の方向が平行に統一された、狭い隙間で駆動する第1、第2のアクチュエータと、前記直角二等辺三角形の斜辺上の中点に相当する前記第1と第2のアクチュエータの中間位置に配置され、前記第1及び第2のアクチュエータが前記統一された駆動方向以外へ動くことを禁止するが、一方のアクチュエータが駆動すると他方のアクチュエータの駆動中心を回転中心として前記補正光学系を微小な回転運動させることを許容するように作用するガイド手段とを有し、前記第1のアクチュエータが駆動すると、前記第2のアクチュエータの駆動中心を回転中心として前記補正光学系は微小な回転運動し、前記第2のアクチュエータが駆動すると、前記第1のアクチュエータの駆動中心を回転中心として前記補正光学系は微小な回転運動し、前記補正光学系は前記互いに直交する方向に移動させられて前記振れを抑制することを特徴とする補正光学系加振装置。

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