特許

J-GLOBAL ID：200903098949714794

トランジスタ回路特性検査装置

発明者： 岡本 昌也 ,  藤野 裕伸 ,  片岡 義晴 ,  伊藤 政隆 ,  ▲吉▼井 正治
出願人/特許権者： シヤープ株式会社
代理人 (1件)： 原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-270904
公開番号（公開出願番号）：特開平5-107303
出願日： 1991年10月18日
公開日（公表日）： 1993年04月27日
要約：

【要約】【構成】 トランジスタ回路特性検査装置は、絵素電極102あるいは信号配線107と所定の距離dを隔てて対向するように配されるプローブ103を有している。このプローブ103は、圧電振動子104により変位させられる。圧電振動子104は、制御信号発生回路109からのトランジスタをON、OFFする制御信号に同期して変位する。プローブ103の変位に伴って、プローブ103に流れる電流は、電流変化検出回路106により検出される。【効果】 トランジスタ回路の特性が非接触に、短時間で評価できると共に、トランジスタ回路の欠陥部分が検出できる。又、トランジスタ回路の開発段階で、その特性が予測可能となるので、回路の開発期間の大幅な短縮が図れ、製造コストの低減が可能となる。

請求項（抜粋）：

電極部あるいは配線部を有するトランジスタが基板上に設けられたトランジスタ回路の特性検査を行うトランジスタ回路特性検査装置において、トランジスタをON、OFFし、上記電極部あるいは配線部を所定の電位にする制御信号を出力する制御信号発生手段と、上記電極部あるいは配線部と所定の距離を隔てて対向するように配される測定電極部と、上記制御信号に同期して上記測定電極部を変位させる変位手段と、上記測定電極部の変位に伴って測定電極部に流れる電流を検出する検出手段とを備えたことを特徴とするトランジスタ回路特性検査装置。