特許
J-GLOBAL ID：200903098963617718
光導波路素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森下 武一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-130162
公開番号（公開出願番号）：特開平9-318980
出願日： 1996年05月24日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：
【要約】【課題】 表面弾性波の伝搬速度が速く、高速走査や高速変調が可能な光導波路素子を得る。【解決手段】 Si基板2上にSiO2からなる光学的バッファ層3を介して光導波路としてのダイヤモンド薄膜4が形成されている。ダイヤモンド薄膜4表面の中央部手前寄りにインターデジタルトランスジューサ11が形成されている。ダイヤモンド薄膜4上にはZnOからなる圧電性薄膜6が形成され、この圧電性薄膜6上には左右両側部に入射用グレーティングカプラ12及び出射用グレーティングカプラ13が形成されている。
請求項（抜粋）：
基板と、前記基板上に積層された、ダイヤモンド薄膜からなる光導波路並びに圧電性薄膜と、を備えたことを特徴とする光導波路素子。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G02F 1/335
, G02B 6/12 N
, G02B 6/12 K
