特許
J-GLOBAL ID：200903098981057010
超狭帯域化レーザ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 高久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-253473
公開番号（公開出願番号）：特開2001-077453
出願日： 1999年09月07日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：
【要約】【課題】 狭帯域化素子としての回折格子を用いてフッ素レーザまたはこのレーザよりも波長の短いレーザのレーザ光を狭帯域化することのできる超狭帯域化レーザ装置を提供する。【解決手段】 全反射鏡10とミラー11とでレーザ共振器が構成されている。回折格子13は、斜入射回折格子として機能すべく、入射角が約80度以上の角度となるように配置されている。回折格子13においては回折と反射が行われ、回折されたレーザ光はミラー11に反射して回折格子13に戻り、一方、反射したレーザ光L10はプリズム14に入射する。回折格子13は、斜入射型であるため、回折効率が10〜20%と低いものの、フッ素(F2)レーザまたはアルゴンダイマ(F2)レーザに適用するものであるため、回折格子13とミラー11とで高い透過率の出力鏡として機能する。
請求項（抜粋）：
フッ素レーザ又はこのレーザよりも波長の短いレーザのレーザ光を発振するレーザチャンバを備え、該レーザチャンバからのレーザ光を狭帯域化して、露光装置へ露光光源として供給する超狭帯域化レーザ装置であって、入射する光を全反射させる全反射手段と、前記レーザチャンバによりレーザ発振されたレーザ光の波長を分散させる斜入射型回折格子と、前記斜入射型回折格子により回折された回折光を全反射させる光学素子とを備え、前記全反射手段と前記斜入射型回折格子および光学素子との間に前記レーザチャンバを配置すると共に、前記全反射手段と前記光学素子とでレーザ共振器を構成するようにしたことを特徴とする超狭帯域化レーザ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/137
, H01S 3/223 Z
5F071AA06
, 5F071JJ10
, 5F072AA06
, 5F072JJ13
, 5F072KK05
, 5F072KK06
, 5F072KK07
, 5F072KK18
, 5F072MM08
, 5F072RR05
, 5F072YY09
