圧電駆動マイクロスキャナ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小鍜治明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-004526
公開番号（公開出願番号）：特開平6-046207
出願日： 1992年01月14日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：

【要約】【目的】本発明は光走査用の圧電駆動マイクロスキャナに関するもので、シリコンプロセスとセラミックス焼結技術により、小型で、製作の容易な圧電駆動マイクロスキャナを提供することを目的とする。【構成】圧電駆動マイクロスキャナは、シリコン基板1に担体材料2と圧電材料4からなるユニモルフを片持ち梁として固定した構成とする。片持ち梁の変形量を計測する手段で、圧電アクチュエータのヒシステリシスを補正し、任意波形で光走査を行う。担体材料2と電極3を光走査の鏡とすることで、走査時の鏡に歪みを生じない特徴を持つ。

請求項（抜粋）：

シリコン基板上に、担体材料と第1の電極と圧電材料の薄膜と第2の電極を形成しユニモルフ型圧電アクチュエータを構成し、前記ユニモルフ型圧電アクチュエータの周辺の一辺をシリコン基板に固定した片持ち梁とするようにシリコン基板に空間を形成し、第1及び第2の電極間に電圧を印加することにより前記ユニモルフ型圧電アクチュエータを変形し、前記片持ち梁の角度を制御し光を偏向する圧電駆動マイクロスキャナ。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭61-241721
特開昭54-136345

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