特許

J-GLOBAL ID：200903098986895383

オゾン発生装置

発明者： 葛本 昌樹 ,  田畑 要一郎 ,  八木 重典 ,  吉沢 憲治 ,  向井 正啓 ,  越智 順二 ,  小沢 建樹
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 田澤 博昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-117227
公開番号（公開出願番号）：特開平11-343105
出願日： 1995年03月07日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：

【要約】【課題】 オゾン発生装置を大きく構成し電力密度W/Sを低く抑える必要があった。【解決手段】 生成したオゾンを解離する2-4eV程度の低エネルギー電子数を抑えるよう構成し、またガス圧力pと放電空隙長dとの積pdが30Torr・cm以下となるように構成したものである。

請求項（抜粋）：

対向して配置されその間に高電圧が印加されることにより放電を発生せしめる2個の電極と、該電極間に設置される少なくとも1個の誘電体と、前記電極間に酸素を含むガスを供給して前記放電によりオゾンを発生するガス供給機構とを備えた少なくとも1個のオゾン発生ユニットを有するオゾン発生装置において、放電空間のガス圧力が1気圧以上で、該放電空間の放電空隙長が0.4mm以下に設定し、生成したオゾンを解離する2-4eV程度の低エネルギー電子数を抑えることにより、高濃度オゾンを発生することを特徴とするオゾン発生装置。

IPC (2件)：

C01B 13/11 ,  H01T 23/00

FI (2件)：

C01B 13/11 Z ,  H01T 23/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭53-058989
  
• 特開平1-148701
  
• 特許第253131号