特許
J-GLOBAL ID：200903098992267670
感光性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船越 康弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-295183
公開番号（公開出願番号）：特開平5-107760
出願日： 1991年10月14日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：
【要約】【目的】 アルカリ性水溶液による現像性を有し、かつ、感度、解像度、耐無電解めっき液性に優れた感光性樹脂組成物を得ること。【構成】 アルカリ水溶液に可溶または膨潤するフィルム形成可能なバインダーポリマー、活性エネルギー線の照射により強酸を発生する化合物、メチロール(メタ)アクリルアミド誘導体の共重合体からなる感光性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
A.アルカリ水溶液に可溶または膨潤するフィルム形成可能なバインダーポリマー、B.活性エネルギー線の照射により強酸を発生する化合物、および、C.下記一般式化1で表される繰り返し単位を含む重合体、【化1】(ただし、R1 は水素、または、炭素数1〜3のアルキル基、R2 は水素、炭素数1〜6のアルキル基、または、炭素数1〜6のヒドロキシアルキル基を表わす。)からなる感光性樹脂組成物。
IPC (8件)：
G03F 7/027 503
, G03F 7/004 503
, G03F 7/004 512
, G03F 7/022
, G03F 7/029
, G03F 7/038 505
, H01L 21/027
, H05K 3/06
