特許
J-GLOBAL ID：200903098994080860
インクジェットヘッドの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柏谷 昭司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-002298
公開番号（公開出願番号）：特開平6-206315
出願日： 1993年01月11日
公開日（公表日）： 1994年07月26日
要約：
【要約】【目的】 インクジェットヘッドの製造方法に関し、圧力室、ノズル等の形状の設計自由度が高く、加工精度が高い製造方法を提供する。【構成】 インクを噴射するノズル9と、ノズル9からインクの粒子を噴出させる圧力を発生する圧力室8と、圧力室8にインクを供給するインク供給路を有するインクジェットヘッドの製造方法において、複数の基板1,4を、ノズルの形状にパターニングされたエッチング保護膜2を介して接合して接合基板5を形成する工程と、この接合基板5の片側からエッチング保護膜2の一部をエッチング停止膜としてエッチングして圧力室8を形成する工程と、このエッチング保護膜2をエッチングマスクとして接合基板のエッチングを続行してノズル9を形成する工程を用いる。この場合、基板としてシリコン単結晶基板を用い、面方位を異ならせることによって圧力室、ノズル等の形状を設定することができる。
請求項（抜粋）：
インクを噴射するノズルと、該ノズルからインクの粒子を噴射させる圧力を発生する圧力室と、該圧力室にインクを供給するインク供給路を有するインクジェットヘッドの製造方法において、複数の基板を、該ノズルの形状にパターニングされたエッチング保護膜を介して接合して接合基板を形成する工程と、該接合基板の片側から該エッチング保護膜の一部をエッチング停止膜としてエッチングして圧力室を形成する工程と、該エッチング保護膜をエッチングマスクとして該接合基板のエッチングを続行してノズルを形成する工程と、を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
IPC (3件)：
B41J 2/16
, B41J 2/045
, B41J 2/055
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 A
