特許
J-GLOBAL ID：200903099000008267
表面粗化方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鴨田 朝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-346853
公開番号（公開出願番号）：特開平7-188947
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年07月25日
要約：
【要約】【目的】 汎用性のあるエッチング法による接着表面の粗化方法を提供する。【構成】 エッチングによって表面に微細な凹凸を形成する工程において、エッチングを行う表面に達する微細なピンホールを有するエッチングレジスト層を形成した後、ピンホールにおける露出部をエッチングする。
請求項（抜粋）：
エッチングによって表面に微細な凹凸を形成する工程において、エッチングを行う表面に達する微細なピンホールを有するエッチングレジスト層を形成した後、ピンホールにおける露出部をエッチングすることからなる表面粗化方法。
IPC (4件)：
C23F 1/04
, C23C 18/22
, C08J 7/00 304
, H05K 3/18
