特許

J-GLOBAL ID：200903099005472522

除振装置ならびにデバイス製造装置および方法

発明者： 牧田 義範
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-182981
公開番号（公開出願番号）：特開2001-012540
出願日： 1999年06月29日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
要約：

【要約】【課題】 除振台の基準中立位置への位置決め性能を電源停止や電源投入の時刻にかかわらず最大限に発揮できるようにする。【解決手段】 除振される除振台4と、この除振台の位置を検出する第1の位置センサ3と、この位置センサの出力に基づいて除振台の位置を制御する位置制御手段8とを備えた除振装置において、固定された基準長を検出する第2の位置センサ23と、この位置センサの出力に基づいて第1位置センサによる検出結果を補正する補正手段24〜26とを設ける。

請求項（抜粋）：

除振される除振台と、この除振台の位置を検出する第1の位置センサと、この位置センサの出力に基づいて前記除振台の位置を制御する位置制御手段とを備えた除振装置において、固定された基準長を検出する第2の位置センサと、この位置センサの出力に基づいて前記第1位置センサによる検出結果を補正する補正手段とを具備することを特徴とする除振装置。

IPC (3件)：

F16F 15/02 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

F16F 15/02 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 503 F

Fターム (11件)：

3J048AA02 ,  3J048AB08 ,  3J048AB20 ,  3J048AD01 ,  3J048BE02 ,  3J048BE09 ,  3J048CB09 ,  3J048CB13 ,  3J048EA13 ,  5F046AA23 ,  5F046CC01