特許
J-GLOBAL ID：200903099006305026
ウェーハ貼付け方法とウェーハ貼付け装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八田 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-298337
公開番号（公開出願番号）：特開平7-148660
出願日： 1993年11月29日
公開日（公表日）： 1995年06月13日
要約：
【要約】【目的】 ウェーハ研磨工程前にウェーハの貼付け状態が確認できるウェーハ貼付け装置を提供すること。【構成】 接着剤を塗布した複数のウェーハ4を個々にスタンプ1により押圧して貼付板3に貼付けるウェーハ貼付け方法および装置において、前記複数のウェーハ内の少なくとも1枚に透明なテストピース41を入れ、または前記貼付板が透明な材料によって形成され、該透明材料によって形成された部分を眺望する位置にテレビカメラ10を設け、該テレビカメラによって接着状態を認識する接着状態認識手段を有することを特徴とするウェーハ貼付け装置である。
請求項（抜粋）：
接着剤を塗布した複数のウェーハを、接着剤を塗布した面を介して貼付板に載置し、前記複数のウェーハを個々にスタンプにより押圧して該貼付板に貼付けるウェーハ貼付け方法において、前記複数のウェーハ内に、少なくとも1枚透明な材料によって形成されたウェーハ形状のテストピースを混在させ、該テストピースによって透視できる貼付け後の接着剤の状態をテレビカメラによって検知し、該テレビカメラによって、写し出された前記テストピースを介して検知される前記接着剤の状態を画像処理手段により画像データとして認識することを特徴とするウェーハ貼付け方法。
IPC (3件)：
B24B 37/04
, B23Q 3/08
, H01L 21/304 321
