特許

J-GLOBAL ID：200903099015479584

透明導電膜の製造方法

発明者： 和田 俊司
出願人/特許権者： 日本板硝子株式会社
代理人 (1件)： 渡部 敏彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-328882
公開番号（公開出願番号）：特開2002-129305
出願日： 2000年10月27日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：

【要約】【課題】 防着板交換直後に防着板に付着するITO蒸発粒子の付着性を高め、ITO異物不良の発生を防止して生産効率を向上することができる透明導電膜の製造方法を提供する。【解決手段】 内壁にITO蒸発粒子付着防止用の防着板38が配設された真空容器8内でガラス基板1上にITOを成膜する透明導電膜の製造方法において、防着板38上に予めガラス基板1上に成膜されるITOと同種のものを成膜する。

請求項（抜粋）：

内壁にITO蒸発粒子付着防止用の防着板が配設された真空容器内で基板上にITOを成膜する透明導電膜の製造方法において、前記防着板上に予め前記基板上に成膜されるITOと同種のものを成膜することを特徴とする透明導電膜の製造方法。

IPC (3件)：

C23C 14/00 ,  C23C 14/08 ,  H01B 13/00 503

FI (3件)：

C23C 14/00 B ,  C23C 14/08 D ,  H01B 13/00 503 B

Fターム (11件)：

4K029AA09 ,  4K029BA50 ,  4K029BC09 ,  4K029BD00 ,  4K029CA04 ,  4K029DA10 ,  4K029DD05 ,  4K029EA03 ,  5G323BA02 ,  5G323BB04 ,  5G323BB06

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-166362
  
• 特開平4-232256
  
• 透明導電膜形成方法及び該方法より形成された透明導電膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-094764   出願人：日本板硝子株式会社, 住友重機械工業株式会社