特許

J-GLOBAL ID：200903099020811961

位置検出装置及び搬送装置

発明者： 小山 勝
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-281831
公開番号（公開出願番号）：特開2000-114352
出願日： 1998年10月02日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：

【要約】【課題】 簡単な回路構成で基板の位置ズレを検出することができ、検出したズレ量に基づいてズレ量を補正することのできる位置検出装置及び搬送装置を提供する。【解決手段】 基板の搬送路中に配置され、基板の2箇所の端部位置を検出する端部位置検出手段(ラインセンサ82、比較器84-1〜84-5、エッジ検出回路86からなる)と、検出された端部位置と、予め設定された搬送路中における基板の基準位置に対するズレ量を算出するズレ量算出手段(CPU96)とを具備する。

請求項（抜粋）：

基板の搬送路中に配置され、基板の2箇所の端部位置を検出する端部位置検出手段と、検出された前記端部位置と、予め設定された前記搬送路中における前記基板の基準位置に対するズレ量を算出するズレ量算出手段とを具備することを特徴とする位置検出装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B65G 43/08 ,  B65G 49/07 ,  G01B 11/00

FI (4件)：

H01L 21/68 L ,  B65G 43/08 F ,  B65G 49/07 Z ,  G01B 11/00 A

Fターム (34件)：

2F065AA03 ,  2F065AA12 ,  2F065AA20 ,  2F065BB01 ,  2F065BB03 ,  2F065CC17 ,  2F065CC19 ,  2F065CC25 ,  2F065EE00 ,  2F065FF02 ,  2F065FF66 ,  2F065FF67 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065PP11 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ42 ,  2F065QQ47 ,  2F065QQ51 ,  2F065TT01 ,  3F027AA00 ,  3F027DA02 ,  3F027EA01 ,  3F027FA12 ,  5F031CA02 ,  5F031GA02 ,  5F031GA43 ,  5F031JA03 ,  5F031JA25 ,  5F031JA51