特許
J-GLOBAL ID：200903099033373874
外観検査方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-131408
公開番号（公開出願番号）：特開2000-323542
出願日： 1999年05月12日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：
【要約】【課題】 被検査対象物の全域において焦点の合った高品質な画像を得ることが可能な外観検査方法及び外観検査装置を提供する。【解決手段】 本発明の一態様によれば、それぞれの波長帯域(λ1,λ2)にのみ感度を持つ2つのTDIカメラ(23,24)を用いる事により異なる焦点面における2つの画像を同時に得た後、予め定義しておいた領域区分に従って画像を切り出して比較検査していく外観検査方法及び装置が提供される。本発明の他の態様によれば、対応する2つのピンホールアレイ(37,38)を顕微鏡の照明側と受光側に設けた共焦点顕微鏡と1つのTDIカメラ(40)により画像を取得する外観検査方法及び装置が提供される。
請求項（抜粋）：
被検査物上の所定方向に配列されたパターンを撮像して得られた画像を他の被検査物の対応する位置に配列されたパターンの画像と比較して被検査物の欠陥を検出する外観検査方法において、少なくとも2つの波長帯域を持つ光を放射する照明手段により光を放射し、該照明手段からの光の方向をビームスプリッタにより変更し、方向変更された光を該波長帯域に対応した位置に焦点化するような色収差を有する光学系を介して被検査物の表面に焦点化し、該被検査物の表面から反射された該2つの波長帯域の光を該光学系及び該ビームスプリッタを介してハーフミラーにより2つの方向に分離して該分離された光の一方を第1の波長選択手段に向け、該分離された光の他方を、第2の波長選択手段に向け、該第1の波長選択手段により該少なくとも2つの波長帯域の一方の波長帯域の光を通過させ、該第2の波長選択手段により該少なくとも2つの波長帯域の他方の波長帯域の光を通過させ、該第1及び第2の波長選択手段を通過した光を少なくとも2つの撮像手段によりそれぞれ受け取ることによりそれぞれの波長帯域毎に該パターンの領域の画像を撮像し、撮像された画像データを合成し、合成された画像の各領域の画像を他の被検査物の対応する位置に配列されたパターンの画像と比較した結果に基づいて被検査物の欠陥を検出する、というステップを備えることを特徴とする外観検査方法。
IPC (4件)：
H01L 21/66
, G01N 21/88
, H01L 21/027
, G03F 1/08
H01L 21/66 J
, G01N 21/88 E
, G03F 1/08 S
, H01L 21/30 502 V
