特許
J-GLOBAL ID:200903099037084354
レーザ出力検出装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
佐々木 聖孝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-084012
公開番号(公開出願番号):特開平7-270230
出願日: 1994年03月30日
公開日(公表日): 1995年10月20日
要約:
【要約】[目的]周囲温度に関係なく高精度で信頼性の高いレーザ出力測定値を得る。[構成]ハウジング12内に入ったレーザ光LBは、反射ミラー14で光路を90 ゚曲げて、ガラス板36、光拡散板40、NDフィルタ42および可視光遮断フィルタ44を通ってフォトダイオード46の受光面に入射する。光学フィルタ42,44およびフォトダイオード46は高熱伝導性の第2保持体28に一体的に保持されている。第2保持体28は、発熱体48、温度センサ50および温調制御回路からなる温調システムによって設定温度(たとえば約45 ゚C)に温調されている。
請求項(抜粋):
レーザ光の出力を検出するレーザ出力検出装置において、前記レーザ光を通す光学フィルタと、前記光学フィルタを通った前記レーザ光を受光して前記レーザ光の出力を電気信号に変換する光電変換素子と、前記光学フィルタと前記光電変換素子とを保持する熱伝導率の高い保持体と、前記保持体の温度を所定温度に制御する温調手段とを具備したことを特徴とするレーザ出力検出装置。
IPC (2件):
引用特許:
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