特許

J-GLOBAL ID：200903099051570334

液晶表示パネルおよびその製造方法

発明者： 仲吉 良彰 ,  鈴木 伸之 ,  小野 記久雄
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-031865
公開番号（公開出願番号）：特開平9-230373
出願日： 1996年02月20日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：

【要約】【課題】 選択エッチングの際の残存物による電気的短絡等を防止する。【解決手段】 透明基板上に形成された、ゲートライン、このゲートラインと絶縁膜を介して交差して形成されたデータライン、前記ゲートラインの一部領域にて前記絶縁膜をゲート絶縁膜とする薄膜トランジスタ、この薄膜トランジスタを介して前記データラインからの映像信号が供給される画素電極を少なくとも備える液晶表示パネルにおいて、データラインと画素電極との間の半導体を形成した後に、前記絶縁膜あるいは透明基板上で少なくとも2回以上のエッチング除去がなされる工程を備える。

請求項（抜粋）：

透明基板上に形成された、ゲートライン、このゲートラインと絶縁膜を介して交差して形成されたデータライン、前記ゲートラインの一部領域にて前記絶縁膜をゲート絶縁膜とする薄膜トランジスタ、この薄膜トランジスタを介して前記データラインからの映像信号が供給される画素電極を少なくとも備える液晶表示パネルにおいて、ゲートラインを被覆するゲート絶縁膜の平面パターンがゲートラインより幅広く、ゲートラインに対してほぼ平行な形状であることを特徴とする液晶表示パネル。

IPC (3件)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 29/786

FI (3件)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 29/78 612 C