特許
J-GLOBAL ID：200903099059410433
ディスク製造方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
白崎 真二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-285438
公開番号（公開出願番号）：特開2002-092967
出願日： 2000年09月20日
公開日（公表日）： 2002年03月29日
要約：
【要約】【課題】 CDを効率的かつ大量に製造可能なディスク製造方法を提供することも目的とする。【解決手段】 成形されたディスク基板Wに対して一連の工程ラインに沿って所定の表面処理が施される。ディスク基板Wに薄膜を形成するスパッタリング工程と、このスパッタリング工程の前後の第1および第2のクリーニング工程とを含み、スパッタリング工程或いはその前後の工程のいずれかが停止した場合、その停止した工程を補償しながら、工程全体として稼動状態が維持される。【効果】 この種のディスク製造装置において工程ライン適所にバッファ装置を設けることにより、工程ライン中で停止個所が生じた場合でもCDを常に連続的に稼働することができ効率的な生産が可能である。
請求項（抜粋）：
成形されたディスク基板に対して一連の工程ラインに沿って所定の表面処理を施すためのディスク製造方法であって、ディスク基板に薄膜を形成するスパッタリング工程と、このスパッタリング工程の前後の第1および第2のクリーニング工程とを含み、スパッタリング工程或いはその前または後の工程のいずれかが停止した場合、その停止した工程を補償しながら、工程全体として連続した稼動状態が維持されることを特徴とするディスク製造方法。
Fターム (13件)：
5D121AA03
, 5D121AA04
, 5D121AA05
, 5D121EE03
, 5D121EE19
, 5D121EE21
, 5D121EE24
, 5D121FF01
, 5D121GG18
, 5D121GG28
, 5D121JJ03
, 5D121JJ05
, 5D121JJ08
