特許
J-GLOBAL ID：200903099065480982
自動洗浄乾燥装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
羽切 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-308217
公開番号（公開出願番号）：特開平6-285437
出願日： 1991年10月29日
公開日（公表日）： 1994年10月11日
要約：
【要約】【目的】 小型で製造コストが安く、しかも作業効率の向上を達成した自動洗浄乾燥装置を提供すること。【構成】 洗浄槽10を単一として、この洗浄槽10内に洗浄用液体を注入する液体注入手段、該洗浄槽10から該液体を排出する排液手段及び該液体注入手段及び排液手段の作動制御をなす制御手段の他、洗浄槽10内に乾燥用気体を供給する乾燥気体供給手段を設けて上記制御手段をして該乾燥気体供給手段の作動制御をも行わせ、本洗浄及びすすぎ洗浄並びに乾燥作業までを一連の作業として上記洗浄槽内にて行えるようにした。また、上記洗浄槽10内に可動に設けられて駆動される被洗浄物担持用の籠状担持部材14を駆動しながら乾燥を行うようにし、乾燥が斑なく、しかも迅速になされるようにした。
請求項（抜粋）：
被洗浄物を収容可能であると共に洗浄用液体を貯留し得る単一の洗浄槽と、前記洗浄槽内に可動に設けられて前記被洗浄物を担持し得る籠状担持部材と、前記担持部材を駆動する担持部材駆動手段と、前記洗浄槽内に前記液体を注入する液体注入手段と、前記洗浄槽から前記液体を排出する排液手段と、前記洗浄槽内に乾燥用気体を供給して前記被洗浄物を乾燥させる乾燥気体供給手段と、前記担持部材駆動手段、前記液体注入手段、前記排液手段及び前記乾燥気体供給手段の作動制御をなす制御手段とを有し、前記制御手段は、前記担持部材駆動手段を作動させつつ前記乾燥気体供給手段をして乾燥用気体の供給をなさしめることを特徴とする自動洗浄乾燥装置。
IPC (2件)：
B08B 3/04
, H01L 21/304 361
